Détection des défauts des plaquettes de semi-conducteurs par vision par ordinateur

Une entreprise spécialisée dans les équipements de test pour semi-conducteurs devait automatiser la classification des défauts des plaquettes pour les lignes de fabrication de ses clients. Les systèmes d'analyse d'images existants, basés sur des règles, nécessitaient un réétalonnage manuel fréquent et ne pouvaient pas gérer la variabilité des nouveaux types de produits.

Détection des défauts des plaquettes de semi-conducteurs par vision par ordinateur

Client

Confidential, Semiconductor Client

Chef d'équipe

Sophie Müller

Date

Q4 2022

Défi commercial

Une entreprise spécialisée dans les équipements de test pour semi-conducteurs devait automatiser la classification des défauts des plaquettes pour les lignes de fabrication de ses clients. Les systèmes d'analyse d'images existants, basés sur des règles, nécessitaient un réétalonnage manuel fréquent et ne pouvaient pas gérer la variabilité des nouveaux types de produits.

Solution et approche

Nous avons développé un système de classification des défauts basé sur l'apprentissage profond, utilisant des réseaux neuronaux convolutifs entraînés sur une bibliothèque de cartes de défauts de plaquettes annotées. Le modèle est généralisable à différentes familles de produits et comprend une couche de quantification de l'incertitude pour les cas limites nécessitant une vérification humaine.

Capacités fournies

  • Classification des défauts de plaquettes basée sur les CNN
  • Adaptation des apprentissages par transfert aux nouvelles familles de produits
  • Quantification de l'incertitude pour les cas limites
  • Intégration avec les systèmes de métrologie de fabrication via API
  • Suivi des versions de modèles et des dérives de performance

Résultats commerciaux

La précision de la classification des défauts a atteint 96,8 % sur 23 catégories de défauts, surpassant ainsi le système précédent basé sur des règles de 14 points de pourcentage. Le temps de classification d'un lot complet de plaquettes a été réduit de 45 minutes à 8 minutes.

96.8%

Précision de la classification

14pp

Amélioration par rapport au système basé sur des règles

8 min

Il est temps de classer un lot complet de plaquettes.

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18h

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4.2pp

Amélioration de la marge brute

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8 weeks

Fonctionnalité expédiée

45 min/week

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91%

Précision de l'analyse syntaxique

55%

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94%

Couverture des audits de chambres par quart de travail

92%

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23%

Réduction du coût par livraison

89%

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